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2025年9月政府采購意向-無掩模光刻機(jī)詳細(xì)情況萬元人民幣

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  • 發(fā)布時(shí)間
    2025-08-27
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    2025-09-01
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正文內(nèi)容

無掩模光刻機(jī)
項(xiàng)目所在采購意向： 浙江大學(xué)2025年9月政府采購意向
采購單位： 浙江大學(xué)
采購項(xiàng)目名稱： 無掩模光刻機(jī)
預(yù)算金額： 85.#萬元(人民幣)
采購品目：
A#+其他光學(xué)儀器
采購需求概況 ：
無掩模光刻機(jī)，用于微流控芯片加工中SU-8光膠光刻，數(shù)量1臺(tái)，380nm激光光源，分辨率1920×1080，最小線寬2μm，支持機(jī)器視覺智能主動(dòng)對(duì)焦功能、交互式套刻指引功能、原位繪制光刻圖形、實(shí)時(shí)光刻圖形的預(yù)覽功能，支持樣品圖形和光刻圖形綁定，實(shí)時(shí)對(duì)應(yīng)，支持光刻圖形算法畸變矯正，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)套刻，支持陣列畫圖、套刻畫圖
預(yù)計(jì)采購時(shí)間： 2025-09
備注：
無

本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。

,浙江

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# 采購意向# 光刻機(jī)
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